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半導體級晶體生長爐CG6000-大連連城數控機器股份有限公司'
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半導體級晶體生長爐CG6000
發表時間:2014-09-23      

Performance  性能

Furnace Chamber Diameter 爐腔內徑

762 mm (30 in) 

Pull Chamber Doorway Height 副室高度

2108 mm (83 in)

Throat Diameter 喉口直徑

254 mm (10 in)

Seed Lift Rate 晶升速率 

0-508 mm/hr

Seed Jog Speed (Nominal) 

籽晶快速提升速率(最大)

508 mm/min

Total Crucible Travel 鍋最大行程

292 mm (11.5 in )

Crucible Lift Rate 鍋提升速率

0-254 mm/hr

Crucible Jog Speed (Nominal) 

鍋快速提升速率(最大)

50.8 mm/min

Seed Rotation (Reversible)

籽晶旋轉速率(可逆)

0-50 rpm

Crucible Rotation (Reversible) 

轉速率(可逆)

0-20 rpm


半導體級晶體生長爐CG6000
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